Standard

ISO 16700:2016

Publisert
Forhåndsvisning

Rettelser og tillegg kjøpes separat.

Språk
Tjenester

Omfang

ISO 16700:2016 specifies a method for calibrating the magnification of images generated by a scanning electron microscope (SEM) using an appropriate reference material. This method is limited to magnifications determined by the available size range of structures in the calibrating reference material. It does not apply to the dedicated critical dimension measurement SEM.

Dokumentinformasjon

  • Standard fra ISO
  • Publisert:
  • Utgave: 2
  • Versjon: 1
  • Varetype: IS
  • ICS 37.020
  • ISO TC ISO/TC 202/SC 4

Produktrelasjon

Produkt livssyklus